更新时间:2023-02-08 12:57:38作者:百科知识库
由于电子在空气中行进的速度很慢,所以必须由真空系统保持电镜的真空度,否则,空气中的分子会阻挠电子束的发射而不能成像。用两种类型的真空泵串连起来获得电子显微镜镜筒中的真空,当电子显微镜启动时,第一级旋转式真空泵(rotarypump)获得低真空,作为二级泵的预真空;第二级采用油扩散泵(oildiffusionpump)获得高真空。
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