秦时为上郡辖地。

西汉时期南部、中部为上郡辖地，设奢延、龟兹、高望、白土等县。

王莽新朝改奢延、高望为奢节县、坚宁县。

东汉为上郡地。县有奢延、祯林和龟兹属国。奢延县辖地同西汉。

西晋为羌胡地，旗境南部为奢延县地。

十六国时期：4世纪，该地区为匈奴铁弗部占据鄂尔多斯地区，先后归附后赵、前秦、西燕、后秦。413年于今乌审旗南部萨日乌素河北岸建统万城，今乌审旗为夏国京都辖地。

南北朝：427年，北魏攻夏国，占领统万城，改夏统万城为统万镇，今乌审旗为统万镇辖地。536年，夏州为东魏高欢袭取。537年西魏夏占领夏州，统万城为西魏夏州及化政郡的治所，今乌审旗为化政郡辖地。后改化政郡为弘化郡。557年夏州归属北周。

隋朝：今乌审旗为朔方郡地。开皇初年，废朔方郡称夏州。607年，又改为朔方郡，治所统方城。

唐朝初期建制承隋制。武德年间，改朔方郡为夏州。后又改为朔方郡，再改为夏州。

五代时期：今乌审旗仍为夏州地，夏州治所统万城。

北宋、辽、西夏并立时期，今乌审旗为夏州地。982年，北宋一度控制夏州。986年，辽封李继迁为定难军节度使都督夏州。988年，宋廷用李继捧为夏州刺史。治所在统万城。991年李继捧叛宋，以夏州将辽。994年（宋淳化五年）宋军复占夏州，毁夏州城，建制仍存。1038年李元昊（赵元昊）建立西夏，今乌审旗为西夏夏州地，统万城为西夏平夏城。

元朝：今乌审旗为陕西行省延安路绥德州辖地。同时又为察罕脑儿辖地。

明朝：明初为察罕脑儿卫地。后为蒙古鄂尔多斯部居地。

清朝：1635年蒙古鄂尔多斯部归附后金。1649年置鄂尔多斯右翼前旗，俗称乌审旗，隶属伊克昭盟。

民国成立初期，承袭清制，设旗衙门为政权机构。

民国二十三年（1934年），民国政府将乌审旗衙门改为乌审旗政府。

民国二十三年（1934年），中国共产党乌审旗工作委员会建立。

民国二十五年（1936年）2月，中国共产党组建“乌审县苏维埃政府”，3月撤销此建制称谓。

民国三十三年（1944年）12月，共产党领导的乌审旗蒙汉自治抗敌联合会建立，民国三十五年（1946年），改为乌审旗蒙汉自治联合会。

民国三十七年（1948年），共产党建立了乌审旗政务委员会。

民国三十八年（1949年）3月，乌审旗自治政府筹备处成立。

民国三十八年（1949年）8月10日，乌审旗人民政府成立。至此，国民党政府的政权机构消亡。

民国三十八年（1949年）9月22日，因奇玉山部叛乱，人民政府夭折。

中华人民共和国成立后，1950年8月25日，乌审旗人民政府再次成立。

1956年12月1日，乌审旗人民政府改称为乌审旗人民委员会。

1967年12月30日，乌审旗革命委员会成立，乌审旗人民委员会权力终止。

1980年12月21日乌审旗人民政府成立，撤销革命委员会。2001年，伊克昭盟更名为鄂尔多斯市，乌审旗属鄂尔多斯市管辖。