SF6气体不溶于水和变压器油，在炽热的温度下，它与氧气、氩气、铝及其他许多物质不发生作用。但在电弧和电晕的作用下，SF6会分解，产生低氟化合物，这些化合物会引起绝缘材料的损坏，且这些低氟化合物是巨毒气体。SF6的分解反应与水分有很大关系，因此要有去潮措施。